松下晶圓定位傳感器訂貨方式M-DW1

規(guī)格

種類    LED式反射型

型號       M-DW1

中心測量距離 45mm

檢測物體              3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)

可對應(yīng)檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)

檢測角度             12.5±5°(注4)

晶圓間距            間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)

適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

電源電壓         12?24V DC±10%　脈動P-P10%以下

消耗電流         65mA以下

輸出 NPN輸出／PNP輸出　可由切換開關(guān)選擇  <NPN輸出>

               NPN開路集電極晶體管

              ?較大流入電流：100mA 

               ?外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間)

              ?剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時)

　　　　　　　 0.4V以下(流入電流為16mA時)

                <PNP輸出>

                PNP開路集電極晶體管

              ?較大源電流：100mA

                ?外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間)

               ?剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時)

　　　　　　　         0.4V以下(源電流為16mA時)

輸出動作     可用切換開關(guān)選擇入光時ON/非入光時ON

短路保護        裝備(自動復(fù)位)

反應(yīng)時間             500μs以下

工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起)

穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時、穩(wěn)定非入光時亮起點燈)

定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器　有效/無效切換式

投光停止輸入 信號條件

               ?投光停止：斷開或4?8V

               ?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度切換輸入 信號條件

               ?輸入OFF：斷開或4?8V

                ?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度設(shè)定 背面教導(dǎo)：按本體靈敏度設(shè)定按鈕運行

                 檢測靈敏度切換：本體開關(guān)2bit、4級或外部輸入的2級選擇式

松下晶圓定位傳感器訂貨方式M-DW1