型號(hào)

M-DW1

中心測量距離

45mm

檢測物體

3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)

可對應(yīng)檢測面

有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)

檢測角度

12.5±5°(注4)

晶圓間距

間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(注5)

適用晶圓盒

SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

電源電壓

12?24V DC±10%　脈動(dòng)P-P10%以下

消耗電流

65mA以下

輸出

NPN輸出／PNP輸出　可由切換開關(guān)選擇
<NPN輸出>
NPN開路集電極晶體管
?較大流入電流：100mA 
?外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間)
?剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時(shí))
　　　　　　　 0.4V以下(流入電流為16mA時(shí))
<PNP輸出>
PNP開路集電極晶體管
?較大源電流：100mA
?外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間)
?剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時(shí))
　　　　　　　 0.4V以下(源電流為16mA時(shí))

輸出動(dòng)作

可用切換開關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON

短路保護(hù)

裝備(自動(dòng)復(fù)位)

反應(yīng)時(shí)間

500μs以下

工作狀態(tài)指示燈

橙色LED(輸出ON時(shí)亮起)

穩(wěn)定指示燈

綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈)

定時(shí)器功能

裝備約2ms固定斷開延遲定時(shí)器　有效/無效切換式

投光停止輸入

信號(hào)條件
?投光停止：斷開或4?8V
?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度切換輸入

信號(hào)條件
?輸入OFF：斷開或4?8V
?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度設(shè)定

背面教導(dǎo)：按本體靈敏度設(shè)定按鈕運(yùn)行
檢測靈敏度切換：本體開關(guān)2bit、4級或外部輸入的2級選擇式

環(huán)
境
性
能

保護(hù)構(gòu)造

IP20(IEC)

使用環(huán)境溫度

0?＋55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí)：?10?＋70℃

使用環(huán)境濕度

35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí)： 35?85%RH

使用環(huán)境照明度

白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下

耐電壓

AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間

絕緣電阻

所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

耐振動(dòng)

頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時(shí)

耐沖擊

耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回

投光元件

LED(調(diào)制式)

材質(zhì)

外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯

電纜

0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm

電纜延長

0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m

重量

本體重量：約75g