介紹德國BURKER毛細管傳感器-1062-4-B-B-008/DC-K1

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　　與 CMOS 傳感器一樣，毛細管傳感器也是采用層流元件來產(chǎn)生壓差，

　　的 MFC 具有100 ms 的響應時間，

　　接接觸，因此具有許多特定的YS，

　　其中之一就是對于流量變化的響應極快。帶 CMOS 傳感器

　　使小部分流量進入旁路

　　該溫度傳感器的熱量、與介質(zhì)直

　　傳感器可用于未經(jīng)標定的氣體：

　　簡化標定，同時正確選擇傳感器材質(zhì)可確保毛細管傳感器適用于腐蝕性氣體。

　　如使加熱電阻保持在一個恒定溫度，則兩個溫度傳感器的

　　如果給電橋提供恒定的電流，其輸出電壓就與這兩個

　　細管上，構(gòu)成半個惠斯頓電橋。當氣體流過毛細管時，

　　在這塊膜上有一個加熱電阻和兩個對稱的

　　溫度傳感器（分別位于上游和下游）。

　　電壓差即可用于測量旁路通道內(nèi)流過芯片的氣體的質(zhì)量流量。

　　通過采用一個轉(zhuǎn)換因子對當前介質(zhì)的測量值進行修正。這樣就可

　　其線性關(guān)系甚至使該

　　的硅芯片，用于測量流量。采用 CMOS 傳感器技術(shù)，

　　電阻的差值成正比。因此該輸出電壓與流過的氣體的質(zhì)量流量成線性關(guān)系。

　　該傳感器的動態(tài)特性取決于不銹鋼毛細管的管壁特性，

　　它起著熱障的作用。毛細管傳感器的

　　這時，R1 的阻值下降，而 R2 的阻值上升。

　　管道。而主要區(qū)別在于：毛細管傳感器不與介質(zhì)直接接觸。

　　兩個溫度相關(guān)的電阻纏繞在不銹鋼毛

　　小部分流量進入旁路管道。旁路管道內(nèi)壁上裝有帶膜

　　就會帶走一部分熱量，流向為從 R1 至 R2。

　　，CMOS 傳感器是在旁路管道中進行測量的。主

　　管道中的層流元件產(chǎn)生一個必需的壓差，使

　　響應時間通常為幾秒，適用于大多數(shù)腐蝕性或毒性氣體。

　　與在主管道中進行測量的式傳感器不同

　　且靈敏度高，即使流量很小時也是如此。

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